利用吸附式制氮机制备高纯度氮气的工艺可以分为以下几个步骤：

空气压缩：将空气进行压缩，使其达到制氮机的进气压力。

氮气分离：空气经过制氮机进气口进入吸附剂层，分离出氧气和水分等杂质。

氮气产生：在吸附剂层中，吸附剂会吸附氧气和水分等杂质，而不吸附氮气，从而产生高纯度氮气。

吸附剂再生：当吸附剂层中的吸附剂吸附饱和后，需要通过加热等方式进行再生，使其重新具有吸附氧气和水分的能力。

氮气提纯：根据需要，可以进行进一步的氮气提纯，例如利用分子筛、活性炭等材料进行氮气纯化处理。

需要注意的是，在制备高纯度氮气时，需要严格控制空气进入制氮机的质量，避免杂质污染。此外，吸附式制氮机的工艺参数和吸附剂的选择也会影响氮气纯度的提高。

总的来说，利用吸附式制氮机制备高纯度氮气的工艺相对简单，成本低，能够满足多种应用场合的需要。